在高純度氣體工藝、半導體制造、新能源材料及精細化工等領域,痕量氧(微氧)的精準監測直接決定了產品質量、工藝安全與生產成本。傳統氧分析設備在微量級(ppm甚至ppb級)監測中常面臨響應滯后、漂移大、易受干擾等挑戰。Panametrics OXY.IQ在線微氧分析儀基于電流燃料電池技術,結合全數字化智能平臺,為工業微氧監測帶來多項革命性突破,成為高純工藝控制的“核心感知器官"。
OXY.IQ專為痕量氧檢測設計,微氧分析性能:
1. 寬域微氧量程覆蓋:支持從 0–10 ppmv 起始的超低量程,至 0–10,000 ppmv,并可選配百分比量程,實現從ppb級到百分比級的全線覆蓋。
2. 精度達±1% FS:在絕大多數量程內實現全量程±1%的高精度,即使在0–10 ppmv超低范圍仍保持±2%的優異穩定性。
3. 抗交叉干擾強:采用OX系列燃料電池,不受背景氣體、碳氫化合物及多數酸性氣體影響,尤其適用于半導體制造、鋰電材料、特種氣體等高純環境。
1. 儀器內置全數字化微處理器系統,實現微氧監測的“可預測、可管理":
2. 實時自診斷與預警:具備傳感器壽命指示、信號漂移報警、故障狀態輸出等功能,符合NAMUR標準,實現預防性維護。
3. 用戶自主設定與溫補:支持面板一鍵設置量程、模擬輸出、校準參數,并自帶溫度補償功能,確保長期監測穩定性。
4. 數據透明化:可實時查看原始微氧信號、溫度、電池狀態等參數,提升工藝可控性。
1. 4–20 mA 二線制回路供電:簡化布線,支持9–28 VDC寬壓輸入,無縫集成DCS/PLC系統。
2. 本安防爆認證齊全:通過ATEX、IECEx、北美Class I Div 1認證,配備MTL7706齊納安全柵,適用于氫氣、甲烷等危險氣體環境。
3. 緊湊堅固結構:防護等級IP66 / Type 4X,可直接安裝在采樣點,減少管路吸附與響應延遲。
OXY.IQ已在多個制造領域成功應用:
半導體與集成電路:高純Ar、N?、He中痕量氧監測
新能源與電池材料:燒結氣氛、電極涂層工藝氧控制
特種氣體與空分:電子級氣體、醫用氧、激光氣體品質監測
熱處理與釬焊:保護氣氛微氧含量實時調控
科研與實驗室:手套箱、氣氛爐在線監測
工藝精益化:實時調控氣氛氧含量,提升產品一致性
安全前置化:預警微量氧異常,防止爆炸、氧化風險
運維數字化:壽命可預測,降低非計劃停機
系統集成化:支持多協議輸出,融入工廠智能平臺
立即升級您的微氧監測系統!
如果您正在面臨痕量氧監測不準、響應慢、維護煩的痛點,OXY.IQ在線微氧分析儀為您提供高穩定、免維護、智能可預警的完整解決方案。
我們提供:
行業定制化微氧監測方案
現場調試與技術支持
長期傳感器供應與校準服務